リニアセンサ
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MLS-105A |
MLS-105S |
■特長
●分解能0.5μmの高精度
●φ5.5の超小型・軽量ヘッド
●高精度シャフトで安定出力
●センサ相互干渉に優れる
●温度ドリフトに強い回路
●スリムな制御回路BOX
■主な用途
●精密成形品の歪測定
●電子部品の組付け高さ測定
●モータシャフトの外径測定
●ウエハホルダーの平面度測定
| 項 目 | 仕 様 | 備 考 | ||
|---|---|---|---|---|
| 測定範囲 | ±2mm | ±0.5mm | 稼動範囲5mm | |
| アナログ 電圧出力 |
出力電圧 | ±4V | ±1V | ゲイン調整にて 設定変更可能 |
| インピーダンス | 130Ω | |||
| 分解能 | 0.5μm | |||
| 直線性 | 1.0％ofF.S. | 0.2％ofF.S. | ||
| 測定力 | 0.3N | ゼロ点位置 | ||
| 温度特性 | 0.02％ofF.S./℃ | |||
| 電源電圧 | DC.+24V | |||
| 消費電流 | 70mA以下 | |||
| 使用周囲 温度 |
センサ部 | -10℃〜+65℃ | 氷結不可 | |
| 制御回路部 | 0℃〜+50℃ | |||
| 使用周囲温度 | 35％〜85％R.H. | 結露不可 | ||
| 重量 | センサ部 | 5g | ケーブル含まず | |
| 制御回路部 | 100g | |||
■外形寸法図 (単位：mm）縮尺不定
